中國(guó)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)一直穩(wěn)步成長(zhǎng)，已在2020年成為全球第二大半導(dǎo)體材料市場(chǎng)，SEMI（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）預(yù)計(jì)，中國(guó)將在2021年維持這一市場(chǎng)地位。

SEMI數(shù)據(jù)顯示，2019年中國(guó)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)增長(zhǎng)為3.4%至87.2億美元，2020年增長(zhǎng)12%至97.6億美元，市場(chǎng)規(guī)模創(chuàng)歷史新高。

具體來(lái)看，半導(dǎo)體材料主要分為晶圓制造材料和封裝材料兩大類(lèi)，晶圓制造材料主要分為硅片及硅基材料、光掩模版、電子氣體、光刻膠及試劑、CMP拋光材料、工藝化學(xué)品、靶材及其他。

SEMI最新報(bào)告顯示，2020年，晶圓制造材料市場(chǎng)規(guī)模為349億美元，較2019年增長(zhǎng)6.5%，約占半導(dǎo)體材料整體規(guī)模的63%，其中光刻膠及試劑、工藝化學(xué)品和CMP拋光材料增長(zhǎng)最為強(qiáng)勁。

Cision預(yù)測(cè)，2022年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模有望達(dá)到105億美元，年均復(fù)合增速5%。10月19日，第一財(cái)經(jīng)國(guó)內(nèi)光刻膠龍頭企業(yè)晶瑞電材，就公司光刻膠等電子材料業(yè)務(wù)的發(fā)展規(guī)劃等內(nèi)容進(jìn)行對(duì)話。

光刻膠：放量才是關(guān)鍵

晶瑞電材主導(dǎo)產(chǎn)品包括光刻膠及配套材料、超凈高純?cè)噭?、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源、基礎(chǔ)化工等行業(yè)，主要應(yīng)用到下游電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜、漿料制備等工藝環(huán)節(jié)。

分行業(yè)看，2021年上半年，晶瑞電材在半導(dǎo)體行業(yè)、新能源行業(yè)和基礎(chǔ)化工行業(yè)的營(yíng)收占比分別為35.11%、35.28%、19.68%，毛利率水平分別為24.80%、14.75%、19.99%。其中新能源行業(yè)和基礎(chǔ)化工行業(yè)的營(yíng)收同比大幅增長(zhǎng)，漲幅分別達(dá)到133.99%和174.51%。

晶瑞電材在新能源行業(yè)的主要產(chǎn)品為鋰電池材料。晶瑞電材董秘陳萬(wàn)鵬在接受第一財(cái)經(jīng)采訪時(shí)表示，“半導(dǎo)體行業(yè)的營(yíng)收放量、市場(chǎng)份額的提升正在發(fā)生確定性的上漲，同時(shí)這是一個(gè)逐步從產(chǎn)品種類(lèi)、數(shù)量再細(xì)化到客戶(hù)每一條芯片產(chǎn)線的積累的過(guò)程，而新能源汽車(chē)的需求爆發(fā)驚人，所以預(yù)計(jì)未來(lái)新能源行業(yè)的營(yíng)收增長(zhǎng)仍將快于半導(dǎo)體行業(yè)。但我們發(fā)展的重心和投入還是在半導(dǎo)體上?！?/p>

半導(dǎo)體方面，晶瑞電材主要產(chǎn)品包括光刻膠及配套材料、超凈高純?cè)噭?。其中，光刻膠產(chǎn)品由晶瑞電材的子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)。

蘇州瑞紅1993年開(kāi)始光刻膠生產(chǎn)，承擔(dān)并完成了國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。公司i線光刻膠已向國(guó)內(nèi)知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨，KrF（248nm深紫外）光刻膠完成中試，產(chǎn)品分辨率達(dá)到了0.25～0.13m的技術(shù)要求，建成了中試示范線。

“KrF光刻膠目前正在客戶(hù)驗(yàn)證階段。我們已經(jīng)在規(guī)劃KrF光刻膠產(chǎn)線了，受現(xiàn)有場(chǎng)地限制，計(jì)劃把我們?cè)瓉?lái)的一個(gè)倉(cāng)庫(kù)直接改建成生產(chǎn)線，預(yù)計(jì)還將新添一臺(tái)光刻機(jī)?！标惾f(wàn)鵬對(duì)第一財(cái)經(jīng)透露。

陳萬(wàn)鵬解釋稱(chēng)，光刻機(jī)不僅用在研發(fā)過(guò)程中，在生產(chǎn)過(guò)程中也會(huì)用到光刻機(jī)，光刻膠出廠前必須100%全檢，以滿(mǎn)足IC制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求，所以KrF光刻膠也需要配備一臺(tái)光刻機(jī)?！邦A(yù)計(jì)今年或明年上半年KrF光刻膠能夠出貨。”

晶瑞電材2020年年報(bào)顯示，公司于2020年下半年購(gòu)買(mǎi)ASML1900Gi型光刻機(jī)設(shè)備，ArF高端光刻膠研發(fā)工作正式啟動(dòng)，旨在研發(fā)滿(mǎn)足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻膠，滿(mǎn)足當(dāng)前集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料市場(chǎng)需求。

“ArF光刻膠今年的主要任務(wù)一方面是在研發(fā)上，開(kāi)發(fā)單體及樹(shù)脂等上游材料、反向分析等工作，另一方面，硬件上的目標(biāo)是我們的光刻實(shí)驗(yàn)室達(dá)到使用狀態(tài)。”陳萬(wàn)鵬表示。

在面板用光刻膠方面，晶瑞電材與日本三菱化學(xué)株式會(huì)社在蘇州設(shè)立了LCD用彩色光刻膠共同研究所，為三菱化學(xué)的彩色光刻膠在國(guó)內(nèi)的檢測(cè)以及中國(guó)國(guó)內(nèi)客戶(hù)評(píng)定檢測(cè)服務(wù)，并于2019年開(kāi)始批量生產(chǎn)供應(yīng)顯示面板廠家。

光刻膠客戶(hù)驗(yàn)證周期一般在6~24個(gè)月，但在陳萬(wàn)鵬看來(lái)，產(chǎn)品配方通過(guò)客戶(hù)性能驗(yàn)證只代表光刻膠能夠做出圖形，這只是萬(wàn)里長(zhǎng)征第一步；第二步是要具備放量能力，通過(guò)小試、中試，甚至需要十幾個(gè)批次都保持穩(wěn)定、一致，這時(shí)候才可能拿到訂單?！靶纬射N(xiāo)售收入才是能否生產(chǎn)光刻膠的硬指標(biāo)?！标惾f(wàn)鵬表示，目前市場(chǎng)上只有晶瑞電材和彤程新材持股公司北京科華在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了規(guī)?；N(xiāo)售收入。

2021年上半年，彤程新材電子化學(xué)品業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營(yíng)收0.51億元，北京科華營(yíng)收同比增長(zhǎng)46.74%；晶瑞電材光刻膠及配套材料實(shí)現(xiàn)營(yíng)收1.43億元，同比增長(zhǎng)82.15%。

訂單方面，據(jù)陳萬(wàn)鵬透露，2020年晶瑞電材光刻膠及配套材料訂單在1.8億元左右，今年上半年就已經(jīng)達(dá)到1.5億元左右，預(yù)計(jì)今年能夠?qū)崿F(xiàn)翻倍增長(zhǎng)。

晶瑞電材董事長(zhǎng)吳天舒對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示，“我們光刻膠產(chǎn)能非常緊，正在積極組織擴(kuò)產(chǎn)階段?！?/p>

光刻膠按顯示的效果，可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。晶瑞電材公告顯示，公司擬建年產(chǎn)1200噸集成電路關(guān)鍵電子材料項(xiàng)目，項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容為光刻膠中間體1000噸/年，負(fù)性光刻膠1200噸/年。投資建設(shè)周期為自開(kāi)工建設(shè)起1年?！霸擁?xiàng)目預(yù)計(jì)明年7~8月投產(chǎn)。這也是整個(gè)晶瑞盈利能力最強(qiáng)的單品?！标惾f(wàn)鵬透露。

超高純化學(xué)品處于全球第一梯隊(duì)

陳萬(wàn)鵬對(duì)第一財(cái)經(jīng)直言，光刻膠經(jīng)過(guò)市場(chǎng)炒作高頻率傳播，大家對(duì)此耳熟能詳，實(shí)際上高純?cè)噭┮彩欠浅Ｖ匾陌雽?dǎo)體材料，缺哪一樣都會(huì)被“卡脖子”。

超凈高純?cè)噭┲饕糜诎雽?dǎo)體等電子信息產(chǎn)品的清洗、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)。不同線寬的集成電路制程工藝中必須使用不同規(guī)格的超凈高純?cè)噭┻M(jìn)行蝕刻和清洗，且超凈高純?cè)噭┑募兌群蜐崈舳葘?duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性均有十分重要的影響。

2021年半年報(bào)顯示，晶瑞電材在半導(dǎo)體材料方面布局的高純雙氧水、高純氨水及高純硫酸等產(chǎn)品品質(zhì)已達(dá)到或者可達(dá)到SEMI最高等級(jí)G5水準(zhǔn)，金屬雜質(zhì)含量均低于10ppt，半導(dǎo)體用量最大的三個(gè)高純濕化學(xué)品將整體達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，可基本解決高純化學(xué)品這一大類(lèi)芯片制造材料的本地化供應(yīng)。已投產(chǎn)主導(dǎo)產(chǎn)品獲得中芯國(guó)際、華虹宏力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、士蘭微等國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體客戶(hù)的采購(gòu)。公司其他多種超凈高純?cè)噭┤鏐OE、硝酸、鹽酸、氫氟酸等產(chǎn)品品質(zhì)全面達(dá)到G3、G4等級(jí)，可滿(mǎn)足平板顯示、LED、光伏太陽(yáng)能等行業(yè)客戶(hù)需求。

超凈高純雙氧水是提純技術(shù)難度最大的微電子化學(xué)品之一，是集成電路芯片制造領(lǐng)域用量最大、市場(chǎng)前景良好的“綠色化學(xué)品”，高端提純技術(shù)歷來(lái)被巴斯夫等國(guó)際大公司所壟斷。晶瑞電材自2001年開(kāi)始高端雙氧水的研發(fā)和生產(chǎn)，自主開(kāi)發(fā)了先進(jìn)的提純技術(shù)，并獲得了發(fā)明專(zhuān)利。超大規(guī)模集成電路用超凈高純雙氧水技術(shù)突破了國(guó)外技術(shù)壟斷，產(chǎn)品品質(zhì)可達(dá)到10ppt以下，滿(mǎn)足SEMI制定的最高純度等級(jí)，成功填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。

硫酸方面，晶瑞電材年產(chǎn)30萬(wàn)噸高品質(zhì)工業(yè)硫酸，副產(chǎn)三氧化硫、蒸汽等副產(chǎn)品，上述產(chǎn)品為能源及基礎(chǔ)化工材料。隨著公司年產(chǎn)9萬(wàn)噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級(jí)高純硫酸技改項(xiàng)目的實(shí)施，部分硫酸產(chǎn)能將由基礎(chǔ)化工行業(yè)類(lèi)別轉(zhuǎn)化為超凈高純?cè)噭┬袠I(yè)類(lèi)別。

“全國(guó)高純雙氧水、硫酸、氨水這三個(gè)占據(jù)整個(gè)IC制造70%耗能的高純濕化學(xué)品，晶瑞已經(jīng)實(shí)現(xiàn)全部覆蓋?！标惾f(wàn)鵬表示，“去年雙氧水只賣(mài)了一萬(wàn)多噸，硫酸甚至為0，氨水一共就4000噸的產(chǎn)能，賣(mài)得也很有限，但這些從今年開(kāi)始能夠開(kāi)始陸續(xù)貢獻(xiàn)營(yíng)收了?！?/p>

陳萬(wàn)鵬給第一財(cái)經(jīng)算了一筆賬，“雙氧水今年滿(mǎn)產(chǎn)；硫酸馬上再下6萬(wàn)噸，明年開(kāi)始9萬(wàn)噸達(dá)產(chǎn)，至少得多賣(mài)個(gè)兩三萬(wàn)噸，后年預(yù)計(jì)賣(mài)出6萬(wàn)~7萬(wàn)噸，按照9萬(wàn)噸硫酸產(chǎn)銷(xiāo)率80%算，也有兩億元左右的凈利潤(rùn)。”

客戶(hù)方面，目前晶瑞電材基本覆蓋主流客戶(hù)，電子硫酸已經(jīng)在多家主流客戶(hù)端進(jìn)行跨線，其中包括不少臺(tái)系芯片廠。

10月24日晚，晶瑞電材發(fā)布2021年三季報(bào)，2021年前三季度，公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入13.09億元，同比增長(zhǎng)83.31%；歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)1.65億元，同比增長(zhǎng)167.80%。主要原因是光刻膠等材料產(chǎn)銷(xiāo)兩旺。

“半導(dǎo)體材料和新能源材料全在漲價(jià)。光刻膠漲價(jià)幅度約20%-50%，為應(yīng)對(duì)四季度產(chǎn)線大修，我們對(duì)7-9月份光刻膠的出貨量進(jìn)行了調(diào)控，影響了產(chǎn)能，光刻膠銷(xiāo)售收入環(huán)比增幅有所下降，但仍不改同比大幅增長(zhǎng)的向好趨勢(shì)?！?/p>

陳萬(wàn)鵬預(yù)計(jì)產(chǎn)銷(xiāo)兩旺的市場(chǎng)格局還能持續(xù)三年。“一方面，IC新建產(chǎn)能逐步釋放，將帶動(dòng)半導(dǎo)體材料需求增長(zhǎng)，另一方面，目前光刻膠國(guó)產(chǎn)替代率不足10%，未來(lái)還有廣闊的國(guó)產(chǎn)替代空間?！?/p>

研發(fā)方面，晶瑞電材2020年研發(fā)費(fèi)用占營(yíng)收3.31%，2021年半年報(bào)這一數(shù)字為2.26%，與同行相比偏低。陳萬(wàn)鵬解釋稱(chēng)，“首先，晶瑞很多年前就開(kāi)始做光刻膠了，現(xiàn)在的技術(shù)都是以前多年研發(fā)投入積累下來(lái)的；其次，我們接下來(lái)要做的ArF光刻膠單就研發(fā)階段就準(zhǔn)備投入4個(gè)億，三年做完，這一個(gè)項(xiàng)目一年也有一個(gè)多億的研發(fā)投入。相信很快，大家會(huì)看到這方面顯著的變化。”