7月13日，上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（下稱“上海精測”）通過微信公眾號宣布，國內(nèi)首臺12寸獨立式光學(xué)線寬測量設(shè)備（OCD）與國內(nèi)唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（ReviewSEM）順利出機。

上海精測母公司精測電子（300567.SZ）同日披露的調(diào)研紀(jì)要顯示，上述兩臺半導(dǎo)體設(shè)備的客戶為中芯國際?！霸O(shè)備是已經(jīng)可以投入使用了”，精測電子內(nèi)部人士今日對記者表示。

據(jù)了解，OCD設(shè)備除具有全自動光學(xué)膜厚測量能力外，還可以進行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量，具有高速、準(zhǔn)確和非破壞性等特點，是半導(dǎo)體前道檢測的關(guān)鍵設(shè)備之一。

精測電子副總經(jīng)理、上海精測總經(jīng)理馬駿在出機儀式上介紹，OCD量測設(shè)備的市場一直為美資公司壟斷，上海精測本次出貨機臺名稱為300FDProfile，是該類型機臺的國內(nèi)首臺，主要應(yīng)用于55nm及以下的快速線寬測量。

而ReviewSEM則是上海精測的另一重要設(shè)備產(chǎn)品，該設(shè)備的交付也使得公司成為目前全球成功開發(fā)該設(shè)備的唯一非美系廠商。

據(jù)媒體報道，上海精測此次交付的兩臺前道量測檢測設(shè)備，該設(shè)備從零部件到整機設(shè)計制造，均具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)。中芯國際（北京）良率提升工程部總監(jiān)翟冬梅對此表示，“填補了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈在該領(lǐng)域的空白”。

上海精測成立于2018年，主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備領(lǐng)域，公司現(xiàn)已形成了膜厚/OCD量測設(shè)備、電子束量測設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備三大產(chǎn)品系列。

在客戶導(dǎo)入方面，上述調(diào)研紀(jì)要透露，目前，上海精測膜厚產(chǎn)品（含獨立式膜厚設(shè)備）已取得國內(nèi)一線客戶的批量重復(fù)訂單、OCD量測設(shè)備已取得訂單并已實現(xiàn)交付，半導(dǎo)體電子束檢測設(shè)備eViewTM全自動晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備已正式交付國內(nèi)客戶。其余儲備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過程中。

“公司之前也披露過有哪些客戶，比如有長江存儲、廣州粵芯等，部分產(chǎn)品已經(jīng)出貨了”，精測電子內(nèi)部人士講到。

由于半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)投入大，同時產(chǎn)品驗證周期長，上海精測2020年實現(xiàn)營收5674萬元，但虧損9688萬元。

不過上海精測并不缺乏資金的支持。

天眼查顯示，精測電子持有上海精測40%股權(quán)，另外精測電子的孫公司上海精圓管理咨詢合伙企業(yè)（有限合伙）持有上海精測13.3%的股權(quán)。國家大基金持有13.33%的股權(quán)，上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)持有6.67%的股權(quán)，后者的股權(quán)結(jié)構(gòu)中，國家大基金和國產(chǎn)半導(dǎo)體離子注入機廠商萬業(yè)企業(yè)各持股近20%。

此外，為進一步推動上海精測發(fā)展，擴大生產(chǎn)能力，以滿足下游需求，精測電子于今年4月完成定增，共募資14.93億元，其中擬投入7.4億元的募集資金用于上海精測研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目。

對于精測電子而言，公司除了在半導(dǎo)體檢測前道領(lǐng)域布局外，其同時也在后道全領(lǐng)域的布局，包括與韓國IT&T合資設(shè)立的武漢精鴻主要聚焦自動檢測設(shè)備（ATE）領(lǐng)域（主要產(chǎn)品是存儲芯片測試設(shè)備）、另外公司的子公司W(wǎng)INTEST以及其在武漢的全資子公司偉恩測試現(xiàn)階段主要聚焦驅(qū)動芯片測試設(shè)備領(lǐng)域。

精測電子在調(diào)研紀(jì)要中稱，公司預(yù)計2021年在半導(dǎo)體的部分產(chǎn)品線實現(xiàn)扭虧，但整體半導(dǎo)體業(yè)務(wù)實現(xiàn)盈利仍需要更多時間和努力。

“公司半導(dǎo)體業(yè)務(wù)已經(jīng)形成獨立的業(yè)務(wù)板塊，但其對營收和業(yè)績的貢獻還是沒有面板業(yè)務(wù)貢獻大，公司這兩年的戰(zhàn)略規(guī)劃也是希望半導(dǎo)體板塊盡快扭虧為盈，使其形成對業(yè)績的貢獻”，公司內(nèi)部人士進一步向記者表示。