天眼查顯示，長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司“半導(dǎo)體器件冷卻裝置”專利公布，申請(qǐng)公布日為2024年4月16日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN117894707A。

本公開(kāi)提供一種半導(dǎo)體器件冷卻裝置，用于對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行冷卻，半導(dǎo)體器件冷卻裝置包括冷卻部和驅(qū)動(dòng)部，冷卻部?jī)?nèi)設(shè)置有第一冷卻介質(zhì)通道；驅(qū)動(dòng)部能夠在第一位置和第二位置之間升降，在第一位置，驅(qū)動(dòng)部與冷卻部配合以與冷卻部一同支撐待冷卻的半導(dǎo)體器件，在第二位置，驅(qū)動(dòng)部將半導(dǎo)體器件頂出以使得半導(dǎo)體器件與冷卻部分離，本公開(kāi)中，一方面采用液冷的冷卻方式有效提高半導(dǎo)體器件的制冷效率，另一方面，驅(qū)動(dòng)至第二位置的驅(qū)動(dòng)部，其表面放置的半導(dǎo)體器件下表面與冷卻部的上表面之間具有足夠的抓取空間以及良好的著力點(diǎn)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的平穩(wěn)抓取。