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進(jìn)入14nm工藝,國(guó)產(chǎn)光刻膠大突破,減少對(duì)日本的依賴

2023-12-05 來(lái)源:科技專家
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關(guān)鍵詞: 光刻膠 芯片 半導(dǎo)體

目前的芯片制造工藝,均是光刻工藝,即通過(guò)光學(xué)--化學(xué)反應(yīng)原理,將電路圖傳遞到硅晶圓上,形成有效的電路圖形。


而光刻工藝過(guò)程中,除了光刻機(jī)這種設(shè)備之外,還有一種化學(xué)材料必不可少,那就是光刻膠,它是光刻工藝中最核心的耗材,其性能決定著光刻質(zhì)量。



大家都清楚,目前光刻機(jī)領(lǐng)域,日本處于壟斷地位,拿下了全球80%以上的份額,特別是在高端光刻膠領(lǐng)域,更是壟斷著市場(chǎng),比如EUV光刻膠,全球僅日本廠商能夠制造。


這對(duì)于中國(guó)芯而言,肯定是無(wú)法接受的事情,因?yàn)楣?yīng)鏈被日本壟斷,就有著斷供的風(fēng)險(xiǎn),所以這些年,中國(guó)光刻膠雖然一直以中低檔產(chǎn)品為主,但高端領(lǐng)域正在逐步突破過(guò)程中,國(guó)產(chǎn)替代正在持續(xù)進(jìn)行。



從具體的分類來(lái)看,光刻膠分為半導(dǎo)體光刻膠、LED光刻膠、LCD光刻膠和PCB光刻膠。其中半導(dǎo)體光刻機(jī)難度最高。


而半導(dǎo)體光刻膠按照工藝的先進(jìn)性,又分為EUV光刻膠、ArF光刻膠、KrF光刻膠、I/G線光刻膠,這些光刻膠與光刻機(jī)又是一一對(duì)應(yīng),比如EUV光刻膠用于EUV光刻機(jī),ArF光刻膠用于ArF光刻機(jī)。



由于國(guó)產(chǎn)光刻膠本來(lái)就起步晚,之前國(guó)產(chǎn)光刻膠,最多達(dá)到干式的ArF階段,也就是干式ArF光刻機(jī)能夠使用的光刻膠,從對(duì)應(yīng)的芯片工藝來(lái)看,最高就是65nm左右。


不過(guò)近日,有國(guó)產(chǎn)廠商徐州博康表示,他們的2款濕法光刻膠,正在產(chǎn)品驗(yàn)證導(dǎo)入階段,最高可以實(shí)現(xiàn)14納米節(jié)點(diǎn)。


另外他們的I線光刻膠有15款產(chǎn)品,KrF光刻膠有30款產(chǎn)品,ArF光刻膠有26款產(chǎn)品,足以對(duì)日本的眾多光刻膠進(jìn)行國(guó)產(chǎn)替代。



事實(shí)上,研發(fā)光刻膠真的不容易,因?yàn)楣饪棠z是一些化學(xué)材料合成到一起的,研發(fā)過(guò)程就是是一個(gè)不斷進(jìn)行配方調(diào)試的過(guò)程。


而配方則是成百上千的樹脂、光酸和添加劑的排列組合,要不斷的嘗試、驗(yàn)證,調(diào)整,最后才成研制出來(lái),更重要的是,研發(fā)光刻膠,也不能買現(xiàn)成的來(lái)反向分析構(gòu)成,因?yàn)橐恍┎牧匣旌弦黄鸷螅杀緯?huì)發(fā)生變化,分析不出來(lái)的。


同時(shí)材料的提純等,也考驗(yàn)廠商的能力,就算你知道某些材料的構(gòu)成,但如果提純能力達(dá)不到,也是研制不出來(lái)成熟的光刻膠。



中國(guó)是全球第一大芯片市場(chǎng),這幾年芯片產(chǎn)能不斷增長(zhǎng),更是制定了實(shí)現(xiàn)70%自給率的目標(biāo),所以對(duì)光刻膠的需求也是越來(lái)越大,同時(shí)隨著工藝推進(jìn),對(duì)高端光刻膠的需求也大增。


所以國(guó)產(chǎn)光刻膠廠商,還得繼續(xù)努力,完善產(chǎn)業(yè)鏈,加快供應(yīng)鏈本土化,為光刻膠國(guó)產(chǎn)化貢獻(xiàn)力量,早點(diǎn)進(jìn)入7nm,甚至5nm、3nm,真正解決后顧之憂。