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第2種繞過(guò)EUV光刻機(jī),制造7nn芯片技術(shù)興起,英特爾已搞定18nm

2023-08-24 來(lái)源:只談數(shù)碼科技
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關(guān)鍵詞: 芯片 英特爾 中芯國(guó)際

目前的芯片制造流程,均是基于光刻流程,所以光刻機(jī)必不可少。


而按照光刻機(jī)的種類(lèi),目前可以分為EUV、DUV、KrF、G線/I線等。而DUV又分為浸潤(rùn)式光刻機(jī),干式光刻機(jī)。


其中EUV主要用于7nm以下工藝,浸潤(rùn)式用于7-65nm,干式光刻機(jī)用于65-130nm,KrF用于130-350nm,而而G線/I線用于350nm+。



但EUV光刻機(jī)全球只有ASML一家能夠生產(chǎn),所以可以說(shuō),全球的先進(jìn)芯片產(chǎn)業(yè),都被ASML卡住了脖子,只要ASML不賣(mài)EUV光刻機(jī),沒(méi)有哪一家廠商能夠進(jìn)入7nm工藝以下。


這當(dāng)然是其它廠商不能忍的,所以其它的廠商,均想研發(fā)出新的技術(shù),來(lái)替代EUV光刻機(jī)。


其中佳能是押注NIL納米壓印技術(shù),就是像芯片的電路圖刻到一個(gè)章子上,再將這個(gè)章子蓋章一樣蓋到硅晶圓上,形成芯片。


不過(guò)目前這種技術(shù),還處于早期階段,但佳能表示到2025年要進(jìn)入5nm,讓大家繞開(kāi)EUV光刻機(jī),所以行不行,得看2025年。



而近日,另外一種技術(shù)又被眾多的廠商提及,特別是intel還表示有了一些突破,已經(jīng)用這種技術(shù),搞定了18nm工藝,接下來(lái)有望進(jìn)入到5nm,繞開(kāi)EUV光刻機(jī)。


這種技術(shù)是什么呢,叫做DSA自組裝技術(shù),它并不是新東西,實(shí)際上10多年前就提出來(lái)了。原理就是利用一些化學(xué)藥品,腐蝕硅晶圓,讓硅晶圓在控制下,直接生成電路圖。


不過(guò)早期,因?yàn)檫@種方法缺陷太大,生產(chǎn)的圖案可控性不強(qiáng),所以一直被大家忽視了,尤其當(dāng)EUV技術(shù)出來(lái)之后,大家都選擇了EUV光刻,很少有廠商去研究DSA了。



但現(xiàn)在摩爾定律快要失效了,光刻技術(shù)似乎已經(jīng)無(wú)法支撐摩爾定律的發(fā)展,所以像NIL、DSA技術(shù),才再度興起,很多人覺(jué)得,利用NIL、DSA技術(shù),或許可以給摩爾定律續(xù)命。


而英特爾通過(guò)研發(fā),已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了一種DSA增強(qiáng)的EUV多圖案化方法,最終金屬間距為18nm,電氣性能穩(wěn)健,于是DSA技術(shù),似乎又被大家重視了起來(lái)。


當(dāng)然,從18nm進(jìn)入5nm,可能要很久,甚至永遠(yuǎn)也進(jìn)不了,但是很多企業(yè)還是表示有信心,覺(jué)得DSA肯定能夠搞定EUV搞定的事情,甚至還會(huì)做到更好。



所以未來(lái),究竟是EUV技術(shù)牛,還是DSA技術(shù)好,或者NIL技術(shù)更強(qiáng),只有用時(shí)間來(lái)證明了。


不過(guò)值得一提的,目前從DSA技術(shù),或者NIL技術(shù),以及EUV技術(shù)來(lái)看,中國(guó)都是處于相對(duì)落后的,這些技術(shù)的專(zhuān)利,主要還是掌握在國(guó)外廠商的手中,EUV技術(shù)是ASML,NIL技術(shù)是佳能,而DSA技術(shù)主要是美歐廠商,所以中國(guó)還得加油。