從75nm到5nm，打破美國(guó)蝕刻機(jī)封鎖，他立下汗馬功勞！
要知道，芯片從設(shè)計(jì)到量產(chǎn)的過(guò)程非常繁雜，其中光刻和蝕刻是繞不開(kāi)的兩大關(guān)鍵技術(shù)。尤其在光刻階段，芯片制造廠商所需要的核心設(shè)備正是如今被ASML壟斷的光刻機(jī)。
而在蝕刻階段，也需要廠商擁有地位等同于光刻機(jī)的重要設(shè)備--蝕刻機(jī)。放眼全球蝕刻機(jī)制造領(lǐng)域，依舊是海外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位，但也不要小瞧我們的國(guó)產(chǎn)蝕刻機(jī)，畢竟中國(guó)有一家蝕刻機(jī)公司，耗時(shí)多年成功打破了其他國(guó)家的技術(shù)封鎖，制造精度從65nm一步步突破到了5nm。
這家公司正是中微半導(dǎo)體，也是目前中國(guó)唯一的蝕刻機(jī)巨頭。中微半導(dǎo)體的創(chuàng)始人是歸國(guó)博士尹志堯，在回國(guó)前，尹志堯已經(jīng)在硅谷的半導(dǎo)體行業(yè)從事了二十多年。尹志堯回國(guó)后，在國(guó)內(nèi)大刀闊斧的進(jìn)行蝕刻機(jī)的研究和發(fā)展，在短短幾年時(shí)間里，憑借尹志堯團(tuán)隊(duì)的實(shí)力以及政府對(duì)中微半導(dǎo)體的大力支持，我國(guó)蝕刻機(jī)發(fā)展便取得了極大的進(jìn)展。
“中國(guó)刻蝕機(jī)之父”尹志堯
尹志堯1944年出生于北京一個(gè)書(shū)香門(mén)第的家庭，他的祖父、父親都曾出國(guó)留學(xué)，并且二人后來(lái)都選擇了回國(guó)報(bào)效。這樣的家庭讓尹志堯自幼具備國(guó)際視野，而且他一直有著一個(gè)奮斗強(qiáng)國(guó)的情結(jié)。
尹志堯的人生是典型的學(xué)霸之路：考入北京四中，考入中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)化學(xué)物理系，進(jìn)入中科院蘭州物理化學(xué)所做研究員，之后又考上北京大學(xué)研究生，再然后去加利福尼亞大學(xué)讀博士。
博士畢業(yè)后，尹志堯先后在美國(guó)英特爾、泛林、“應(yīng)用材料”等半導(dǎo)體巨頭企業(yè)工作。工作期間他個(gè)人擁有86項(xiàng)美國(guó)專利和200多項(xiàng)各國(guó)專利。
在應(yīng)用材料公司，尹志堯甚至做到了總公司副總裁的位置。
在美國(guó)事業(yè)如日中天，但是尹志堯在六十歲這個(gè)年齡，居然出人意料地選擇了回國(guó)創(chuàng)業(yè)。
做出這個(gè)決定，除了受父親、祖父愛(ài)國(guó)心的影響以外，還有一個(gè)讓人意想不到的原因。
1984年，尹志堯第一次去英特爾上班時(shí)，他驚訝地發(fā)現(xiàn)：公司從研究課題組長(zhǎng)、經(jīng)理，再到工程師，絕大部分都是華人。
“沒(méi)有想到，華人對(duì)美國(guó)集成電路的發(fā)展，貢獻(xiàn)如此之大！”尹志堯說(shuō)。
這件事讓尹志堯堅(jiān)信，中國(guó)將來(lái)在集成電路領(lǐng)域，一定能達(dá)到世界最先進(jìn)水平。20年后，他要親自證明自己的判斷，他選擇回國(guó)創(chuàng)業(yè)。
為了不違反企業(yè)保密條例，尹志堯沒(méi)有帶任何文件、圖紙走，只帶領(lǐng)著 15 人小團(tuán)隊(duì)，和他們的記憶，還有美國(guó)的企業(yè)管理理念。
2004年，他在上海創(chuàng)辦中微半導(dǎo)體公司，并堅(jiān)持全員持股。
“為什么英特爾、泛林、應(yīng)用材料這三家能成為世界頂尖的半導(dǎo)體公司？很多人不知道，一個(gè)關(guān)鍵原因是全員持股。”尹志堯說(shuō)。
“如果員工只有工資和獎(jiǎng)金，那么競(jìng)爭(zhēng)企業(yè)可以輕松用高薪挖走你的員工，讓你曾經(jīng)的員工成為你的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。為長(zhǎng)遠(yuǎn)考慮，我們公司全員持股，每一個(gè)級(jí)別股票差20%，工資差 10%，我稱之為中微的特色社會(huì)主義集體所有制?！?/span>
就這樣，在尹志堯的帶領(lǐng)下，大家靠著記憶和不斷學(xué)習(xí)外國(guó)最新的研究成果，僅用三年的時(shí)間，便研發(fā)出了第一代刻蝕機(jī)。
公司成立17年，先后投入20多億人民幣，中微相繼推出了從 75納米到5納米工藝的刻蝕機(jī)，技術(shù)始終與美國(guó)巨頭公司處于同一水平，并且產(chǎn)品已被臺(tái)積電采用，同時(shí)產(chǎn)品還銷(xiāo)往韓國(guó)、新加坡、日本等國(guó)家。
隨著中微的成功，美國(guó)政府很快取消了刻蝕機(jī)對(duì)華出口限制，因?yàn)檫@個(gè)限制已經(jīng)失去意義。
成功打入臺(tái)積電供應(yīng)鏈
現(xiàn)在的中微公司，代表著國(guó)內(nèi)刻蝕機(jī)技術(shù)的“天花板”，還在全球分工的芯片產(chǎn)業(yè)鏈中站穩(wěn)了腳跟。
業(yè)界一般把28納米“分辨率”視為芯片先進(jìn)程度的分界線，28納米及以上被稱為“成熟制程”，28納米以下被稱為“先進(jìn)制程”。
高端的等離子體刻蝕機(jī)可以用于先進(jìn)制程的芯片生產(chǎn)。2015年之前，美國(guó)一直向中國(guó)廠商禁運(yùn)這類設(shè)備，直到中微突破這項(xiàng)技術(shù)，禁令隨之廢除。
目前，全球僅有臺(tái)積電和三星兩家公司能量產(chǎn)5納米芯片。臺(tái)積電就用了中微的等離子體刻蝕機(jī)生產(chǎn)先進(jìn)制程的芯片。
國(guó)內(nèi)另一半導(dǎo)體設(shè)備巨頭北方華創(chuàng)的刻蝕機(jī)，突破了制造14納米制程芯片的技術(shù)壁壘，相關(guān)設(shè)備于2016年開(kāi)始出貨。
兩家公司相對(duì)比，中微更專注在芯片刻蝕設(shè)備研發(fā)上，并在2012年切進(jìn)LED賽道，研制出首臺(tái)用于LED芯片制造的MOCVD設(shè)備。今年6月份，中微公司還發(fā)布了用于高性能Mini-LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備，目前Mini-LED已然成為了市場(chǎng)的熱點(diǎn)。
北方華創(chuàng)的優(yōu)勢(shì)在于產(chǎn)品線更齊全，擁有半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備、精密元器件四大事業(yè)群。
據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)VLSI統(tǒng)計(jì)的客戶滿意度，2019年中微在全球晶圓制造設(shè)備市場(chǎng)排名第三，也是前五名中唯一的中國(guó)企業(yè)。
國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的機(jī)遇
中微半導(dǎo)體的成功證明了，中國(guó)在高技術(shù)領(lǐng)域不僅具有強(qiáng)大的市場(chǎng)潛力，也有能力突破技術(shù)封鎖，成為全球領(lǐng)先的技術(shù)創(chuàng)新者之一。這種技術(shù)上的突破不僅意味著中國(guó)在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從追趕到領(lǐng)先的跨越，也為中國(guó)在其他高技術(shù)領(lǐng)域贏得了更多的話語(yǔ)權(quán)。
然而，要在全球半導(dǎo)體行業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位，中微半導(dǎo)體仍然需要不斷創(chuàng)新和努力。中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展仍然面臨許多挑戰(zhàn)，如核心技術(shù)受限、高精度設(shè)備制造困難、人才短缺等。因此，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)必須繼續(xù)加大研發(fā)投入，提升技術(shù)水平，加強(qiáng)與國(guó)際先進(jìn)企業(yè)的合作，積極推動(dòng)本土企業(yè)的創(chuàng)新能力。
值得一提的是，在未來(lái)的發(fā)展中，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)更大的機(jī)遇。隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將成為重要的基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)，而中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模龐大、政策支持力度大、勞動(dòng)力成本低等因素將會(huì)成為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的優(yōu)勢(shì)。同時(shí)，中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)需要發(fā)揮自身的優(yōu)勢(shì)，積極布局全球市場(chǎng)，加強(qiáng)國(guó)際技術(shù)交流與合作，推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)更快的發(fā)展。
作為中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)的代表，中微半導(dǎo)體的成功不僅是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展史上的重要節(jié)點(diǎn)，更是中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)積極走出去、參與全球競(jìng)爭(zhēng)的標(biāo)志。中微半導(dǎo)體在與國(guó)際先進(jìn)企業(yè)的合作中，學(xué)習(xí)了他們的先進(jìn)技術(shù)和管理經(jīng)驗(yàn)，不斷提高自身的創(chuàng)新能力和競(jìng)爭(zhēng)力。這些經(jīng)驗(yàn)和能力將有助于中微半導(dǎo)體和其他中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)在全球市場(chǎng)中獲得更大的發(fā)展機(jī)遇和優(yōu)勢(shì)。
不過(guò)，中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)在布局全球市場(chǎng)和加強(qiáng)國(guó)際技術(shù)交流與合作方面仍面臨諸多困難和挑戰(zhàn)。其中最大的挑戰(zhàn)之一是缺乏核心技術(shù)，中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)需要加大研發(fā)投入，尤其是在芯片制造工藝和器件設(shè)計(jì)等核心技術(shù)方面加強(qiáng)攻關(guān)。此外，中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)在國(guó)際市場(chǎng)上面臨的質(zhì)量認(rèn)證、知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)等問(wèn)題也需要加強(qiáng)研究和應(yīng)對(duì)。
在此背景下，中國(guó)政府需要繼續(xù)加大對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的支持力度，提供更多的政策扶持和資金支持，鼓勵(lì)企業(yè)加大研發(fā)投入，推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級(jí)。同時(shí)，政府也需要加強(qiáng)與國(guó)際機(jī)構(gòu)的合作，推動(dòng)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的制定和質(zhì)量認(rèn)證等工作。
總之，中微半導(dǎo)體的成功雖然為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了強(qiáng)心劑。但是，中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)仍需要發(fā)揮自身的優(yōu)勢(shì)，不斷加大研發(fā)投入，提高自身的技術(shù)水平和競(jìng)爭(zhēng)力，積極布局全球市場(chǎng)，加強(qiáng)國(guó)際技術(shù)交流與合作，推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)更快的發(fā)展。在此過(guò)程中，中國(guó)政府的支持和引導(dǎo)將發(fā)揮重要的作用，幫助中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)在全球市場(chǎng)中贏得更大的發(fā)展機(jī)遇和優(yōu)勢(shì)。
