美國的目標(biāo)非常明確,那就是鎖死中國大陸18納米以下DRAM內(nèi)存的生產(chǎn)設(shè)備,128層以上NAND閃存生產(chǎn)設(shè)備,以及14納米以下邏輯芯片的生產(chǎn)設(shè)備。
而為了達(dá)到這個(gè)目標(biāo),今年美國更是牽手了荷蘭、日本,因?yàn)槿毡?、荷蘭也有很多半導(dǎo)體設(shè)備巨頭,特別是荷蘭有ASML,日本有尼康這兩大光刻機(jī)巨頭。
所以我們看到,前段時(shí)間ASML表示,浸潤式光刻機(jī)中,TWINSCAN NXT:2000i及之后的浸沒式光刻系統(tǒng),已經(jīng)賣給中國了,只有TWINSCAN NXT:2000i之前的光刻機(jī)不受影響。
所以一時(shí)之間,網(wǎng)友們都非常擔(dān)心,覺得我們芯片產(chǎn)業(yè)最重要的可能就是卡在光刻機(jī)上面了,因?yàn)閲a(chǎn)的才90nm精度,而浸潤式光刻機(jī)也受限,那么我們可能很長一段時(shí)間,因?yàn)楣饪虣C(jī)的原因要卡在14nm了,除非國產(chǎn)光刻機(jī)有突破。
說真的,關(guān)于光刻機(jī),其實(shí)大家不必太過于擔(dān)心,不說國產(chǎn)光刻機(jī)突破,僅目前能夠買到的這一臺(tái)光刻機(jī),就能夠支撐到7nm。
如下圖所示,這是目前ASML三種浸潤式光刻機(jī)的詳細(xì)介紹,里面有具體提到支持的工藝制程。
而TWINSCAN NXT:1980Di是我們能夠買到的,明確指出可以用于10nm以下節(jié)點(diǎn)的批量生產(chǎn),不說5nm,7nm是沒問題的。
事實(shí)上,從砂子變成芯片,中間需要幾十種材料,幾百種設(shè)備,幾千道工序,光刻機(jī)只是其中最為核心的設(shè)備之一,但并不是說擁有了先進(jìn)光刻機(jī),就等同于掌握了先進(jìn)工藝。
如果你搞定7nm芯片,需要其它所有的設(shè)備、材料都達(dá)到先進(jìn)的7nm工藝,還需要自己的芯片制造技術(shù),也達(dá)到7nm工藝,并不是只有7nm光刻機(jī)就行的。
而我們對外依賴的并不僅僅只有7nm光刻機(jī),還有眾多的材料、設(shè)備,比如光刻膠等等,所以別只把目光盯在光刻機(jī)上,我們要補(bǔ)的課還非常多,別想一口吃成胖子,慢慢來。