一臺(tái)EUV光刻機(jī)有45萬個(gè)零件,ASML只生產(chǎn)15%,85%靠采購
眾所周知,EUV光刻機(jī)被人稱之為世界上最精密的機(jī)器,因?yàn)樗苡脕砩a(chǎn)當(dāng)前最先進(jìn)的3nm芯片,是真正的“工業(yè)皇冠上的明珠”。
而從價(jià)格來看話,一臺(tái)先進(jìn)制程的EUV光刻機(jī),可以賣到3~4億美金,比一架波音飛機(jī)都貴,而重量甚至可以達(dá)到180萬噸。
如果要從荷蘭運(yùn)一臺(tái)ASML光刻機(jī)到中國,需要4架次的波音747貨機(jī),還需要40多個(gè)恒溫恒濕專用箱、專業(yè)防震氣墊車來運(yùn)輸,路上還不能出任何一點(diǎn)差錯(cuò),一出差錯(cuò),問題就大了,不是損失錢,一臺(tái)EUV就像是一臺(tái)印鈔機(jī)一樣,是損失了“印鈔”能力。
同時(shí)當(dāng)這臺(tái)機(jī)器運(yùn)到目的地后,需要專業(yè)的運(yùn)輸車來運(yùn)送,還需要一組工程師,到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行安裝調(diào)試。
而一旦調(diào)試好之后,這臺(tái)EUV光刻機(jī)一年可以穩(wěn)定運(yùn)行超過98%的時(shí)間,每年停機(jī)檢修工作只需要7天左右,每一個(gè)部件正常工作時(shí)間至少要達(dá)到3萬小時(shí)以上。
可見,ASML的光刻機(jī),確實(shí)牛,不是吹的,這種精密程度,說全球最精密,一點(diǎn)都沒有吹牛。
而一臺(tái)這樣的EUV光刻機(jī),需要的零件不是網(wǎng)上說的10萬個(gè),而是超過45萬個(gè)。
這45萬個(gè)零件中,ASML大約只生產(chǎn)了其中的15%,另外的85%是ASML從全球的供應(yīng)鏈那里整合而來的。
在光刻機(jī)這一領(lǐng)域,ASML的最大本事,其實(shí)并不是什么自研技術(shù),其實(shí)是組裝光刻機(jī),將這45萬個(gè)零件,組裝成一臺(tái)全球最精密的儀器,讓他全年無休的工作,不需要休息,這就是ASML的本事。
畢竟一臺(tái)光刻機(jī),在制造芯片時(shí),鏡頭是不動(dòng)的,而晶圓是要在工作臺(tái)上是在不斷移動(dòng)的,如果控制不好,芯片就沒法制造了。而EUV光刻機(jī)內(nèi),這種移動(dòng)的精度要達(dá)到1nm內(nèi),也就是“套刻精度”(Overlay)<1nm。
目前全球也就ASML能夠達(dá)到,像尼康、佳能的光刻機(jī),還達(dá)不到這種精度,所以他們也無法推出EUV光刻機(jī)。
至于ASML的EUV核心技術(shù),其實(shí)還是來源于美國,當(dāng)年美國的英特爾發(fā)起了EUV LLC聯(lián)盟,集合了英特爾、ASML、AMD、摩托羅拉等美國科技巨頭,還有幾大美國實(shí)驗(yàn)室,集合幾百位頂級(jí)科學(xué)家的力量,投入了幾億美元,驗(yàn)證了EUV光刻機(jī)的可行性后,將技術(shù)只交給了ASML,讓ASML來研發(fā)。
而ASML則拉上蔡司等供應(yīng)鏈,不斷的研究,終于讓理論變成現(xiàn)實(shí),有了現(xiàn)在的EUV光刻機(jī),而尼康、佳能沒能得到美國的EUV技術(shù),最終還停留在DUV上。
可見,組裝也是核心科技,就像歐洲的工程師曾吹牛的,給中國光刻機(jī)圖紙,也未必造得出光刻機(jī)出來,還真是如此,就算拿到45萬個(gè)零件,我們也未必能夠造出這種精密的機(jī)器來,需要積累、經(jīng)驗(yàn),以及各種光學(xué)、力學(xué)、物理、材料能力等等。
所以國產(chǎn)光刻機(jī)加油吧,沒有什么彎道超車的方法,把基礎(chǔ)打牢,與供應(yīng)鏈合作,靠自己生產(chǎn)45萬個(gè)零件,不太可能的,只有大家一起一步一步走,才有可能追上,想要彎道超車,說不定會(huì)翻車。
