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格科半導(dǎo)體成功引入ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)

2022-03-28 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)整理
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關(guān)鍵詞: 格科半導(dǎo)體 ArF 光刻機(jī)

3月27日,據(jù)格科微官微披露,3月24日,格科半導(dǎo)體再次迎來(lái)了建廠重要標(biāo)志性時(shí)刻,整套生產(chǎn)線中的最關(guān)鍵設(shè)備——ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)成功搬入。


目前,格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”推進(jìn)迅速。廠房和潔凈車間建設(shè)已經(jīng)基本完成,并于2022年2月16日開始主設(shè)備的搬入安裝。



2022年3月24日上午10:18,在嚴(yán)格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情況下,格科微順利舉辦ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)搬入儀式。格科半導(dǎo)體SVP李朝勇、各部門總監(jiān)、光刻團(tuán)隊(duì)及廠務(wù)團(tuán)隊(duì)出席儀式,共同見證了公司這一里程碑式的重要時(shí)刻。