我國首次建立基于硅晶格常數(shù)溯源的集成電路納米線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
近日，市場監(jiān)管總局批準(zhǔn)建立平面結(jié)構(gòu)納米線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（[2024]國標(biāo)物證字第5975號(hào)）和立體結(jié)構(gòu)納米線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（[2024]國標(biāo)物證字第5976號(hào)），打通極小納米線寬量值向硅晶格常數(shù)溯源的計(jì)量途徑，成為我國集成電路晶體管柵極線寬溯源最精準(zhǔn)“標(biāo)尺”，支撐集成電路制造向極微觀尺度邁進(jìn)，提升集成電路芯片集成度和性能先進(jìn)制造水平，有力促進(jìn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
